绝压压力晶圆(MEMS)

绝压压力晶圆(MEMS)

特点:

小型化、MEMS技术

自主知识产权芯片设计

高精度线性特征

良好重复性、可靠性、稳定性方便客户采用运放或信号处理电路进行补偿

可订制

应用:

应用
  • 技术参数
  • 产品资料
项目
参数
压力量程0~100kPar
压力种类绝对压力 ABBSOLUTE PRESSURE
压力介质空气Air
过载压力300kPar
爆破压力500kPar
储存温度-55℃~150℃
工作温度范围-40℃~125℃
桥臂电阻4.5~5.5kΩ
激励电压5~10V
激励电流1mA
零点输出-20~+20mV
满量程输出90~130mV
非线性、迟滞0.2%FS
零点温度误差恒压/恒流激励:-0.05~0.02%FS/℃
满量程温度误差

恒压激励:-0.2~0.25%FS/℃

恒流激励:-0.05~0.05%FS/℃